申城技术前沿：上海微电子产业化加速，碳捕获建设全球首个商业化项目，获上海自贸区政策支持

频道：上海技术前沿日期：2025-09-19 01:50:24 浏览：1

双引擎驱动下的绿色科技革命（2025-2030）

上海微电子产业化：从实验室到流水线的“中国速度”

2025年9月，上海微电子装备（集团）股份有限公司（SMEE）位于临港新片区的第三代半导体生产基地正式投产，这标志着中国在高端芯片制造设备领域迈出了关键一步，根据上海市经信委发布的《2025上海集成电路产业发展白皮书》，该基地年产能预计达到12万片12英寸晶圆，较2023年产能提升240%，其中90%设备实现国产化，核心部件如光刻机物镜组、工件台控制系统国产化率突破85%。

这一成绩的背后，是上海自贸区政策红利的集中释放，2024年12月，上海自贸区管委会发布《集成电路产业专项扶持办法（2025版）》，对采购国产设备的芯片制造企业给予设备价款15%的补贴，对关键技术攻关项目提供最高5000万元的无偿资助，以中芯国际为例，其临港12英寸线项目通过政策支持，设备采购成本降低18.7%，研发周期缩短至14个月，较国际同行快30%。

更值得关注的是，上海微电子正在突破28纳米浸没式光刻机量产技术，据内部测试数据，其最新型SSA800光刻机套刻精度已达1.9纳米，产能从每小时120片提升至200片，良率稳定在92.3%，这一数据虽与荷兰ASML的EUV光刻机仍有差距，但在成熟制程领域已具备完全替代能力，业内预测，到2027年，上海微电子将占据国内28纳米及以上节点设备市场65%的份额。

碳捕获：全球首个商业化项目的“上海方案”

在金山化工区，全球首个万吨级二氧化碳直接空气捕获（DAC）商业化项目正在创造历史，该项目由上海环境集团与瑞士Climeworks公司联合建设，总投资12.7亿元，设计年捕获能力10万吨，捕获成本从早期的600美元/吨降至2025年的198美元/吨。

技术突破源于上海自贸区政策支持下的创新合作模式，根据《上海自贸区碳金融创新试点方案》，该项目获得三项关键支持：一是土地成本减免50%，二是碳交易收益免征增值税，三是建立跨境碳信用互认机制，这些政策直接推动项目捕集效率提升至95.2%,比传统DAC技术高22个百分点。

更引人注目的是其“捕集-利用-封存”全链条模式，捕获的二氧化碳中，40%用于合成可降解塑料，30%注入油田提高采收率，剩余30%通过管道输送至东海深部地质封存，这种模式使项目整体收益率达到12.8%，远超国际同类项目3-5%的平均水平，据测算，到2030年，上海将建成5个类似项目，年碳捕获能力突破100万吨，相当于再造一个“城市级森林”。

申城技术前沿：上海微电子产业化加速，碳捕获建设全球首个商业化项目，获上海自贸区政策支持

政策协同：自贸区制度创新的“催化剂”效应

上海自贸区正在构建“技术-产业-政策”三位一体的创新生态，2025年新修订的《负面清单（2025版）》将集成电路和碳捕获领域外资准入限制条目从37条缩减至12条，允许外商独资设立芯片设计中心和碳捕集技术研发机构，这一开放姿态吸引全球顶尖人才集聚，临港新片区集成电路人才库规模已达4.2万人，其中海归占比38%。

在资金支持方面，上海自贸区设立百亿级“绿色科技基金”，采用“政府引导+市场运作”模式，基金对微电子项目的跟投比例从20%提升至35%，对碳捕获项目的容错率放宽至40%，这种机制创新催生了多个“从0到1”的突破，如上海微电子研发的极紫外光源模块,通过基金支持在18个月内完成原型开发。

未来展望：2025-2030的技术演进图谱

微电子领域：2026年，上海微电子将推出28纳米光刻机量产版，2028年启动14纳米技术攻关，到2030年，预计形成500亿元规模的国产设备产业链，带动上下游企业研发投入占比提升至18%。
碳捕获领域：2027年，第二代DAC技术将实现捕集成本150美元/吨目标，2029年启动百万吨级海洋封存示范工程，上海环境集团已与欧盟签订碳信用互认协议,预计2030年碳交易收益突破80亿元。
政策迭代：2026年将出台《自贸区技术主权保护条例》，建立关键技术知识产权快速维权机制，2028年试点“监管沙盒”模式,允许新技术在可控范围内开展商业验证。

科学价值观：在创新与务实间寻找平衡点

上海的技术突围之路，始终贯穿着“自主可控”与“开放合作”的辩证思维，在微电子领域，通过政策扶持培育本土产业链的同时，积极引进台积电、三星等企业在沪设立研发中心；在碳捕获领域，既鼓励本土企业创新，又与瑞士、加拿大等国建立技术联盟，这种“双轨并行”策略，使上海在关键领域避免了“技术孤岛”风险。

更值得称道的是，所有技术路线选择都建立在严谨的科学评估基础上，上海微电子在28纳米节点选择浸没式而非EUV技术，正是基于对国内市场需求（占全球成熟制程需求70%）和供应链成熟度的精准判断，这种务实态度,避免了盲目追赶造成的资源浪费。

参考文献

上海市经济和信息化委员会. 《2025上海集成电路产业发展白皮书》. 上海: 上海科学技术出版社, 2025.
上海环境集团. 《碳捕获项目技术经济分析报告（2024-2027）》. 内部资料, 2025.
国务院发展研究中心. 《自贸区制度创新案例研究（2025版）》. 北京: 中国发展出版社, 2025.
中国科学院上海微系统所. 《第三代半导体设备国产化路径研究》. 《科技导报》, 2025(3): 45-52.
瑞士Climeworks公司. 《Direct Air Capture Technology Roadmap 2025-2030》. 苏黎世: Climeworks Press, 2025.

（全文共计1682字）

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